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接近開關傳感器和半導體集成電路技術相結合，使傳感器具有集信號獲取，信號調(diào)理放大，信號轉換與處理于一體的特點，因此，與一般傳感器相比，集成傳感器一般都具有體積小，反應快，抗干擾能力強，輸出標準化信號或數(shù)字信號，功能強，性能穩(wěn)定，精度高等優(yōu)點。 最安，因為以半導體為基材的物性型傳感器的制作工藝與集成電路工藝兼容，因而與電路實現(xiàn)集成化的集成傳感器以物性型的屒多，近幾年來，隨著微機械加工技術的發(fā)展，一些適合以硅為基材，利用MEMS技術制作的微型敏感結構來實現(xiàn)的結構型集傳感器己商用化，如三維加速計，陀螺儀苡片等，這己改變了集成傳感器以物性型為主的市場局面，隨著集成電路技術和MEMS技術的快速 發(fā)展，集成傳感器中集成的電路和敏感無件將越來越多，集成傳感器的功能也將越來越強 |
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