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和MEMS工藝制作的可控制溫度的電導敏感元件。如在中央部位表面利用納米材料制作氣體敏感薄膜，則該元件即成為氣體微傳感器的基礎(chǔ)元件，可用于摧各種類型的氣體微傳感器以及微傳感器陳列。這種微光電開關(guān)傳感器的優(yōu)勢在于體積小，功耗低、可批量生產(chǎn)，隨之而來的問題則在于硅基底材料的立體加工工藝、元件的可靠性以及元件與敏感材料之間的兼容性等。 利用上述元件制作 的一種SNO2氧化物薄膜氣體微傳感器的結(jié)構(gòu)。SNO2氧化物薄膜對氣體的敏感特性是與溫度有關(guān)的，主要原因在于氣體分子在表面的吸/脫附過程、氣體分子在表面的吸附量、反應(yīng)速度等均與溫度有關(guān)。 此外，溫度還會引起微結(jié)構(gòu)的尺寸變化。因此，這種SNO2氧化物薄膜結(jié)合可控溫元件的微傳感器比起傳統(tǒng)形式的SNO2氧化物薄膜氣體微傳感器有明顯的優(yōu)勢。 溫度控制在元件特性方面的作用在元件的制作 方面，需要考慮的因素主要有加溫元件的益以及表面薄膜制作時微結(jié)構(gòu)的控制。溫度的變化導致元件對各種氣體成分的敏感特性改變，因此可愛過對元件工作溫度的控制，調(diào)節(jié)敏感元件的氣體敏感特性。為集成有九個敏感元件的器件，所以熱慣性小，溫度變化率比較高。 |
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