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電阻就礦業(yè)片可分為金屬應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩大類。金屬應(yīng)變片又可分為金屬絲式、箔式、薄膜式三種。 金屬應(yīng)變片分為金屬絲式應(yīng)變片和金屬應(yīng)變片，與光電開(kāi)關(guān)傳感器的器件相比不同的地方做以下詳細(xì)介紹： 1、金屬絲式應(yīng)變片： 金屬絲式具應(yīng)變片由金屬電阻應(yīng)變絲、基體、保護(hù)層和引線等部份組成。金屬電阻就礦業(yè)絲又稱為敏感柵，一般敏感柵的直徑為0.015-0.05mm。制作時(shí)先將敏感柵粘貼在絕緣的基體上，為方便測(cè)量?jī)啥擞靡€引出，上面再加上保護(hù)層，防止外界環(huán)境影響其工作。其特點(diǎn)是蠕動(dòng)較大，金屬絲比較容易脫落，成本低，價(jià)格便宜。 2、金屬箔式應(yīng)變片： 金屬箔式應(yīng)變片是通過(guò)光記得、腐蝕等工藝，在絕緣基片上制成很薄的金屬箔敏感柵。與金屬絲式應(yīng)變片相比，它的優(yōu)勢(shì)在于敏感柵粘貼面積大，可以更好地隨被測(cè)物體變形，橫向效應(yīng)小，散熱條件好，允許通過(guò)的電值較大，可根據(jù)實(shí)際需要制成各種開(kāi)關(guān)，便于批量生產(chǎn)等，因此已逐漸取代金屬絲式應(yīng)變片。 3、金屬薄膜式應(yīng)變片： 金屬薄膜式應(yīng)變片是采用真空蒸發(fā)或真空沉淀等技術(shù)，在非常薄的絕緣基片上形成0.1um以下的金屬電阻薄膜的敏感柵，再加上保護(hù)層而制成的。它的優(yōu)點(diǎn)是應(yīng)變靈敏度高、方便批量生產(chǎn)，工作范圍廣。 在半導(dǎo)體應(yīng)變片是用半導(dǎo)體材料制成的，測(cè)量原理是基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。壓阻效應(yīng)是指半導(dǎo)體材料在受外力作用時(shí)，半導(dǎo)體材料的電阻率P發(fā)生變化的現(xiàn)象，它的優(yōu)勢(shì)在于靈敏度高、尺寸小、橫向效應(yīng)小、動(dòng)態(tài)響應(yīng)好，但是又有溫度系數(shù)大，非線性比較嚴(yán)重等缺點(diǎn)。 |
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